电子特种气体之氯化氢气体在半导体及相关领域的应用

大约有110类电子特气在半导体及相关领域应用，常用类别超过30余。

按成分分类如下：

硅系、砷系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类

按用途分类如下：

掺杂用气体、外延用气体、离子注入气、发光二极管用气、刻蚀用气体、化学气相沉积气和平衡气

氯化氢（HCL）气体属于特种气体中的腐蚀性气体，一般作为发光二极管用气及气相刻蚀用气，在晶圆制造中用于氧化、控制离子侵入氧化层、去除不必要的金属杂质和清洗。

因产品使用领域的精度越来越高，故提纯成为电子特种气体制备工艺中的最大技术要求。

本公司深耕氯化氢的高纯制备工艺，三十几年只为更高的纯度，更稳定的品质而努力，成品得到了国际用户的认可，有林德、台积电等知名大企业为我公司的产品质量和服务背书。